成膜装置販売事業

ダイヤモンド合成の幅広い要望に対応可能な
熱フィラメントCVD装置製造販売

12インチ対応
大型熱フィラメントCVD装置 (large-area hot-filament CVD)

  • l２段階自動レシピ運転（シード→膜成長）
  • lフィラメント自動張力調整機構搭載
  • l張力安定化時間を短縮：約５分（炭化プロセス中）
  • l長時間無人運転可能
  • l各種インターロック搭載（水流量･ガス圧力）
  • lチャンバー全周水冷機構
  • lR＆Dから量産まで対応

◆ダイヤモンド薄膜
化学的安定性、高熱伝導率、優れた半導体物性
◆用途
電気化学用電極、放熱基板、耐放射線デバイス用コンタクト層 etc