12インチ対応
大型熱フィラメントCVD装置 (large-area hot-filament CVD)
- ２段階自動レシピ運転（シード→膜成長）
- フィラメント自動張力調整機構搭載
- 張力安定化時間を短縮：約５分（炭化プロセス中）
- 長時間無人運転可能
- 各種インターロック搭載（水流量･ガス圧力）
- チャンバー全周水冷機構
- lR＆Dから量産まで対応
◆ダイヤモンド薄膜
化学的安定性、高熱伝導率、優れた半導体物性
◆用途
電気化学用電極、放熱基板、耐放射線デバイス用コンタクト層 etc
熱フィラメントCVDによるダイヤモンド合成プロセス
メタン･水素混合ガスが通電加熱したタングステンフィラメントによって分解され、その前駆体が基材表面で結晶成長し、ダイヤモンド薄膜が合成されます。
ガスにボロン源(トリメチルボロン)を加えることで、ボロンがドーピングされた導電性ダイヤモンド薄膜も合成できます。
S.Ohmagari Functional Diamond (2023)
