対応サイズ:3~12インチ
3 inch BDD

12 inch BDD

● 粒子径:2μm程度
※1μmは要相談
● 膜厚:2μm程度

●B(ボロン)ドープ量
1E20cm-3以上
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3 inch BDD

12 inch BDD

● 粒子径:2μm程度
※1μmは要相談
● 膜厚:2μm程度

●B(ボロン)ドープ量
1E20cm-3以上
| サイズ | 最小単位 | 出荷形態 |
|---|---|---|
| 3 inch | 1枚 | テープマウント プラダン挟み込み |
| 12 inch | 1枚 | テープマウント シッパー梱包 |
| 6.4✕6.4mm | 20チップ | ケース梱包 |
※上記以外の特注品も対応可能ですのでお気軽にご相談ください
7×8mmケース梱包
6.4×6.4mm

テープマウント、プラダン挟み込み梱包
6.4×6.4mm 3 inch BDD on Si
