ExtenD社のダイヤモンド成膜装置の開発状況について紹介

Cat-CVD研究会にて、ExtenD社のダイヤモンド成膜装置の開発状況について紹介いたします。

12インチ対応型熱フィラメントCVD装置の開発と多結晶ダイヤモンド薄膜の合成
大谷 亮太*, 1, 2，大曲 新矢1，北市 充1
（1株式会社ExtenD，2オーエスラボラトリー）

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